首先是真空系統工藝過程中產生的氣體。它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體，同時真空系統中液體或固體蒸發的氣體也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料，這部分氣體的量的計算都是不同的。

第二，真空系統內原本存在的大氣氣體。真空系統中真空容器室、真空管路等，這些原本就含有一定量的大氣氣體成分，在抽氣初期，它們是真空系統抽氣的主要氣體負荷，也是被系統早抽走的。

第三是真空系統中的泄漏氣體。泄漏氣體包括大氣通過真空密封的連接處以及各種漏隙通道泄漏進入真空系統內部的氣體。對于確定的真空系統來說，泄漏的氣體量是一個常數。不同的真空系統應用、不同的極限壓力，對泄漏氣體的量也有嚴格的限制。

第四，真空系統中各種材料表面解吸釋放出來的氣體。常壓下，真空系統中的材料表面會吸附、溶解部分氣體。在負壓狀態下，這部分氣體會被重新釋放出來。它的放氣流量與材料性能、處理工藝以及材料表面狀態有關。

第五，真空系統外大氣通過器壁材料滲透到系統內的氣體。氣體在固體中也會發生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結構材料會向真空系統內滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統下可以不考慮，但部分應用在玻璃真空系統或薄壁金屬系統會需要考慮滲透氣體帶來的影響。

以上5個方面就構成了真空系統的總的抽氣負荷。