不像其他的氣體傳輸泵，低溫泵在氣體捕集過程中會出現飽和情況，因此需要釋放吸附捕集的氣體以恢復捕集能力，稱之為再生過程。

低溫真空泵的再生其實包括部分再生（僅釋放二級冷板吸附的氣體）與全部再生（釋放所有冷板吸附的氣體）。本文要了解的就是低溫泵的全部再生的幾種方式。

一、自然升溫法。關掉制冷機后，利用泵壁的熱量使真空泵緩慢升溫。當真空泵內的壓力升到對流換熱起作用時，升溫速率加快，隨后達到穩定的升溫值。

二、放氣升溫法。關掉制冷機后，打開放氣閥放入清潔干燥的空氣，使低溫真空泵冷板快速升溫。

三、電加熱法。在低溫真空泵的一二級冷板上加裝電加熱器，再生時通過電加熱使低溫板快速升溫，縮短再生時間。

這幾種再生方式中，自然升溫適用于抽除少量氣體，并且不是連續長期排氣的真空系統，一般需時5～6小時。如果在要求快速再生的應用中，就需要采用后兩種再生方式。

低溫真空泵在再生過程中，需要及時抽除釋放出來的氣體以防止可能出現的對泵體或真空計玻璃管管殼的破壞，甚至爆炸。因為升溫到一定溫度時，永久性氣體的解吸速度很快，在數分鐘之內可使泵體內壓力升高到一個大氣壓以上。