吸附劑在真空應用中，如吸附泵、捕集器等環節都會涉及到。它在吸氣過程中吸附到一定程度的時候就需要通過解吸，來恢復對氣體雜質的捕集能力，也就是再生過程。

吸附劑再生過程中在解吸也就是去除吸附質的時候，其本身結構不發生或極少發生變化，常用的方法有溶劑抽提法、焙燒法以及生物法。

溶劑抽提法是利用合適的溶劑，使吸附質在該溶劑中的溶解性能遠大于吸附劑對吸附質的吸附作用，將吸附質從吸附劑上萃取下來，再進行適當的干燥便可恢復吸附能力。

焙燒法即是將飽和吸附的吸附劑通過高溫處理，使吸附質脫附揮發，恢復其吸附能力。常見的真空部件與材料烘烤即是這種方式的運用。

生物法，是通過微生物對吸附質的降解作用使其降解脫附。

除了上述3中常見的再生方法，可能還會遇到其他一些再生方式：比如蒸汽法，用水蒸氣吹脫吸附劑上的低沸點吸附質；臭氧化法，利用臭氧氧化分解吸附劑上的吸附質；置換再生，選擇合適的脫附劑（氣體），將吸附質置換吹脫，再進行脫附劑的再脫附，等等。